净化工程的有关专业知识与详细信息，工作人员的活动也可以使单边流酿出紊流。已经这些紊流中，因为风力较低，气体稀释液水准较小，进而促使环境污染浓度值较高。因此，必不可少将风力相互连接已经0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范围里，便于使终断的单边流能迅速修复，丰富稀释液阻碍物四周紊流区的环境污染。用风力可以精确地暗示着出单边流，由于风力越高房间内就越整洁。而每钟头换风取屋子的容积相关，如装修吊顶的左右，因此不适合用于暗示着单边流。单边流房间内的送排风量是紊流室的许多倍(10到100倍)。核心供应室既是环境污染物件的聚集地，另外也是无菌检测物件的生产制造、存储和推送单位，避免步骤中的环境污染外扩散是主要现象。

整洁室内空间的温度湿度最先是依据净化工程加工工艺规定来明确，但已经考虑净化工程加工工艺规定的标准下，应充分考虑人的温馨度感。跟随气体整洁度规定的发展，展现了净化工程加工工艺对温度湿度的规定也愈来愈严的发展趋势。详尽净化工程加工工艺对气温的规定之后也要例举，但作为总的本则看，因为加工精度愈来愈细致，因此对气温变动范围的规定愈来愈小。倘若洁净室工程花费依照生产流水线的%测算，将来每建一条生产流水线所必须的净化室的花费也达亿人民币。

比如已经规模性集成电路芯片消費的光刻曝出加工工艺中，作为掩膜板材料的夹层玻璃取硅单晶的线膨胀系数的差规定愈来愈小。曲径100um的硅单晶，气温升高1度，就造成了0.24um线形澎涨，因此必不可少有±0.1度的控温，另外规定环境湿度值一般较低，由于人流汗之后，对卖得货将有环境污染，放码是怕钠的半导体材料生产车间，那类生产车间气温不适合跨越25度，湿度过高产生的现象大量。控制面板的项目投资一样具有极强的成长型和规律性，相匹配着身后的产品升级产生的投资总额的规律性增涨。

空气湿度跨越55%时，冷却循环水壁厚上面冷凝水，倘若发病已经细致安裝或电源电路中，便会造成各种安全事故。空气湿度已经50%最易锈蚀。除此之外，环境湿度太高时将根据空气中的氧分子把硅单晶表面黏着的浮尘有机化学吸咐已经表面无法肃清流毒。空气湿度越高,黏附的越累除掉，但当空气湿度小于30%时，又因为静电力的影响使颗粒也非常容易吸咐于表面，另外很多集成电路工艺非常容易发病穿透。