无尘车间室内浮游微粒浓度，如果使用高性能的过滤器，则容易达到零水平，但在实际的生产现场，由于操作者、机械、周边机械的扬尘和基板搬送时接触的部件材料的扬尘等，在制造品周边扬起微小的微粒，导致部件清洗面的粒子污染

　　如何在无尘车间内防止微粒污染？ 请遵循以下三个基本原则。

　　一、不带入

　　在无尘车间内不携带微粒的方法如下。

　　1 .作业人员进入无尘车间之前，应在搬入机台、零件之前进行清扫处理。

　　2 .进入无尘车间的人必须穿更衣室不出灰尘、不产生静电的特殊导电性纤维材质的洁净服、帽子、鞋、手套、口罩等。

　　3 .通过风淋室时，可以用高速干净的空气除去附着在衣服表面的粒子后进入洁净室。

　　4 .机器和材料带入洁净室之前，请尽量在密封状态下带入洁净室前室进行保养后，用超纯水擦拭，在风淋室吹走后进入洁净室。

　　二、不制造

　　在控制作为最大污染源的人的洁净室内微粒子的发尘量的同时，也必须控制作为第二大污染源的制造机台的发尘量。 由于物品移动时产生的摩擦和接触剥离而扬尘，物品移动时有时会产生微粒子。 因此，为了将发尘量抑制在最小限度，需要采取以下对策。

　　1 .减少接触剥离扬尘的动作形态。

　　2 .采用磨损粉尘少的材质。

　　3 .采用扬尘少的润滑油。

　　4 .机台应用气动悬浮的非接触化工作原理。

　　三、不储备

　　如果能彻底实施“不带入”的技术，就能维持无尘车间内的洁净度。 但是，现实中人和物的频繁出入和制造机台的把手，在宽敞的洁净室内是不可能具有完全的洁净度的。 因此，迅速将“不储备”技术应用于过滤器，除去产生的微粒子非常重要。 通常，已经产生的微粒子通过重力和静电吸附力停留在周边的物体表面。 突发振动和不稳定的气流使这些累积微粒在空气中再次飞舞，增加了重大微粒污染的危险性。

　　在最高级别的洁净室中，从天花板到地面，完全去除微粒的空气必须以0.3-0.4m/s的速度垂直向下流动。 室内空气和完全过滤空气在约10秒内完全交换计算的值。 另外，气流也必须正确控制。 特别是请确保气流流通路径畅通。 流通路径中有障碍物时，会产生空气涡流，容易形成空气滞留区域，附近产生的微粒子无法迅速排除，长时间在洁净室内漂浮，一部分附着在周边设备的表面引起污染。