净化工程的归类

净化工程就是指操纵商品(如硅集成ic等)所触碰空气的洁净度等级及温度湿度，使商品能在一个优良的区域环境的空间中生产加工、制造。此区域环境的空间的设计施工全过程就可以称之为净化工程。

漩涡式(TurbulentFlow)

气体由空调机组经通风风管与洁净房间内之空气过滤网(HEPA)进到净化室，并由净化室两边隔断板墙或架空地板

送风。气旋非直线式运作而呈不规律之漩涡或涡旋情况。此形式适用洁净室等级1,000-100,000级。

优势：结构简易、系统软件修建低成本，净化室的扩张较为非常容易，在一些独特主要用途场地，可并且用无尘工作台，提升洁净室等级。

缺陷：漩涡导致的浮尘颗粒于室内空间设计悬浮不容易排出来，易环境污染工艺商品。此外若系统软件终止运行再激话，欲达要求之洁净度等级，通常须用时非常长一定时间。

净化工程层.流式(Laminar)

层.流式气体气旋运作成一匀称之直线式，气体由覆盖面积100%之过滤装置进到房间内，并由架空地板或两边轻质隔墙板送风。此形式适用洁净室等级需定较高的区域环境应用，通常其洁净室等级为Class1~100。其形式可分成两种：

(1)水准层.流式：平移式气体自过滤装置单方位吹出，由对边墙面之送风系统软件送风，浮尘随风频排出来户外，通常在下流侧环境污染较比较严重。

优势：结构简易，运行后短期内内就可以变为平稳。

缺陷：修建花费比漩涡式高，室内空间设计不容易扩张。

(2)竖直层.流式：屋子吊顶天花板彻底以ULPA过滤装置遮盖，气体由上向下吹，必得较高之洁净度等级，在工艺中或工作员所造成的浮尘可迅速排出来户外而不容易危害其它工作地区。

优势：管理方法非常容易，运行刚开始短期内内就可以达平稳情况，不容易为作业状态或工作工作人员所危害。

复合型(MixedType)

复合型为将漩涡式及层.流式给予复合型或并且用，可出示部分超洁净之气体。

(1)洁净隧道施工(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤装置将工艺地区或工作地区100%遮盖使洁净室等级提升至10级之上，可节约安裝运行花费。此形式需将工作工作人员之工作区域与商品和设备维修给予防护，以防止设备维修时危害工作及质量。ULSI工艺大多数选用此类形式。

洁净隧道施工另有两项优势：A.延展性扩张非常容易；B.检修设备维修时可在维修区随便实行。

(2)洁净管路(CleanTube)：将商品步骤历经的自动化生产线包围着并清洁解决，将洁净室等级增至100级之上。因商品和操作工及发尘区域环境互相防护，小量之排风就可以获得优良之洁净度等级，可节约能源，不需人工服务的自动化技术生产流水线为最适合应用。药物、食品类业内及半导体材料业内均可用。

(3)并装部分净化室(CleanSpot)：将洁净室等级10,000~100,000之漩涡洁净房间内之商品工艺区的洁净室等级提升为10~1000级之上，认为生产加工的用处；净化工作台、洁净工作棚、洁净箱式风机即属该类。

洁净工作棚：为在漩涡式之净化室的空间内以抗静电之全透明塑料薄膜排成一小的空间，选用单独之HEPA或ULPA及空调送风发电机组而变成一高级之洁净的空间，其级别为10~1000级，高宽比在2.5米长，覆盖范围约十米2下列，四支支撑并改装活动轮，能为延展性应用。